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机动式天车自动化搬运轨道.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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机动式天车自动化搬运轨道.pdf

    本发明公开了一种机动式天车自动化搬运轨道，包括小批量烘烤的复数台小烤箱，小烤箱接续设置于一半导体制程设备的旁侧，每一半导体制程设备进行一项芯片的制程，而制程结束后，小批量的芯片即可送进小烤箱进行烘烤；小烤箱的一侧以复数快拆结构固定一龙门框架，复数龙门框架间以复数快拆结构组设于一天车轨道，天车轨道上设有复数天车载送芯片至各制程，而一系列流程与复数个另一系列流程间均可借由换轨装置进行连接转换，据此龙门框架与小烤箱可机动的依需求随时改变位置，并可配合快拆结构迅速拆装天车轨道，能够快速完成全新系列流程。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117088052 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310249424.0 (22)申请日 2023.03.15 (30)优先权数据 111118875 2022.

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