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- 2023-11-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种真空内部平移带旋转的工件架,在平移导轨装置之间设置平移装置;在平移装置上设置旋转装置;在旋转装置上固定工件放置部件;平移装置在平移导轨装置之间移动的同时,旋转装置带着所述工件放置部件旋转;从而使镀膜产品在前后平移的过程中,同时处于旋转状态;保证工件膜层的均匀性。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220057013 U
(45)授权公告日 2023.11.21
(21)申请号 202321668955.5
(22)申请日 2023.06.28
(73)专利权人 上海福宜真空设备有限公司
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