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超快激光加工碳化硅光谱信号研究 摘 要 本文通过飞秒激光加工碳化硅，采用LIBS检测技术的相关知识，研究了加工过程中激光诱导等离子体的相关理论。LIBS技术是一种新型的光谱分析方法，该技术利用高强度的能量光束，照射到样品表面上，在样品表面上形成高强度的光斑，然后通过相关的仪器和系统进行分析。论文重点分析了飞秒激光加工过程中的相关参数对等离子体光谱信号强度的影响，以及使用光谱仪和ICCD探索加工过程等离子体的膨胀过程。并且根据实验探索最佳的加工工艺，对参数进行优化。本文的主要研究内容和结论如下： （1）本论文研究了在空气条件下分别对激光能量、延迟时间以及脉冲个数这些加工参数对谱线强度的影响，分析