雷射成孔技术介绍与讨论.docx

雷射成孔技术介绍与讨 论 Corporation standardization office #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8 雷射成孔技术介绍与讨论 雷射成孔的商用机器，市场上大体可分为：紫外线的 Nd：YAG 雷射机（主要供应者为美商 ESI 公司）；红外线的 CO2 雷射机（最 先为 Lumonics，现有日立、三菱、住友等）；以及兼具 UV/IR 之变 头机种（如 Eecellon 之 2002 型）等三类。前者对 3mil 以下的微孔 很有利，但成孔速度却较慢。次者对 4~8mil 的微盲孔制作最方便， 量产速度约为 YAG 机的十倍，后者是先用 YAG 头烧掉全