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本发明涉及MEMS电容式传感器，具体是一种带有温度补偿的电容式传感器信号读出电路。本发明解决了现有MEMS电容式传感器信号读出电路读出精度较低的问题。一种带有温度补偿的电容式传感器信号读出电路，包括MEMS电容式传感器、基准偏置电路、第一电容电压转换电路、第二电容电压转换电路、第一温度补偿电路、第二温度补偿电路、第一高通滤波电路、第二高通滤波电路、差分放大电路、低通滤波电路；所述基准偏置电路包括电池；所述第一电容电压转换电路包括第一电压反馈运算放大器、第一电容、第二电容；所述第二电容电压转换电路
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117109642 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311130628.9
(22)申请日 2023.09.04
(71)申请人 中北大学
地址 030051
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