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本发明提供一种空间原子氧密度在轨连续检测系统，涉及空间环境探测技术领域。该空间原子氧密度在轨连续检测系统包括微型原子氧密度传感器、原子氧监测电路、控温及测温电路和紫外光源，微型原子氧密度传感器包括基底、支撑层、下绝缘层、上绝缘层、加热及测温电阻薄膜、加热及测温引线窗口、传感电极和纳米氧化锌薄膜。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合，可实现空间原子氧密度的在轨连续监测，具有高灵敏度、高寿命、快速响应、小尺寸、低功
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117110132 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202310953188.0
(22)申请日 2023.07.31
(71)申请人 兰州空间技术物理研究所
地址 7
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