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本申请公开一种光罩正位识别方法、系统和识别终端，其中光罩正位识别方法包括如下步骤：获取光罩图像，在所述光罩图像中确定多个候选区域；获取各个所述候选区域对应的第一黑白图像；计算各个第一黑白图像中第一像素值出现的比率；将所述第一像素值出现的比率在第一预设范围内的第一黑白图像确定为含有正位标记的候选区域；根据各个所述候选区域是否含有正位标记识别光罩是否正位。本申请能够巧妙地实现对光罩位置的判断，避免了人为判断的失误，同时也避免了对于标记符号的内容直接进行识别的复杂性，可以提升对应光罩正位识别方案的稳定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117111422 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311372083.2
(22)申请日 2023.10.23
(71)申请人 粤芯半导体技术股份有限公司
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