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- 2023-11-25 发布于四川
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本发明涉及化学气相沉积反应设备领域，具体是一种适用于分段膜材料均匀连续大面积制备的化学气相沉积反应设备。该设备由供气系统、原料区、反应区、成品区和尾气及真空系统构成，原料区与反应区的反应炉管进料端连接，成品区与反应区的反应炉管出料端连接，原料区的推送托轨与反应区的过料导轨同轴对齐，过料导轨同轴置于反应区的反应炉管内；供气系统通过保护气管路与原料区、成品区相连通，供气系统通过反应气管路与成品区相连通，尾气及真空系统的真空系统、尾气系统分别与原料区、成品区相连通。本发明保证了分段膜材料能够可控连续制
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117107218 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311165463.9
(22)申请日 2023.09.08
(71)申请人 中国科学院金属研究所
地址 11
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