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光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质.pdf

    本申请涉及一种光学邻近修正方法、系统、计算机设备及介质，方法包括：获取包括阶梯线的初始版图图形，阶梯线包括依次连接的第一边、第二边及第三边；在初始版图图形的外围形成评价点，评价点包括位于第一边一侧的一组第一子评价点、第二边一侧的一组第二子评价点以及第三边一侧的一组第三子评价点；其中，第一子评价点、第二子评价点及第三子评价点中的至少一组为阶梯状评价点；基于评价点对初始版图图形进行光学邻近修正，以获取目标版图图形，目标版图图形的收敛度位于预设范围之内。上述方法能够对形状特殊或较复杂的图形进行更加精准

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117111399 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311387197.4 (22)申请日 2023.10.25 (71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司 地址

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