原创力文档- 6
- 0
- 约1.45万字
- 约 12页
- 2023-11-25 发布于四川
- 举报
本申请提供一种气路部件、盖板组件以及半导体制程设备，气路部件包括基材和多个气孔，基材包括底壁和环绕所述底壁设置的外周壁，多个气孔开设于所述外周壁，并沿外周壁的周向间隔设置；每个气孔在外周壁相对的两端面上分别形成进气口和出气口，沿进气口指向出气口的方向，每个气孔的孔径先逐渐缩小后逐渐增大。通过上述设置，使得在对气孔进行清洗时，便于流体侵入气孔，降低对气孔的清洗和抛光难度，保证对气孔的清洗和抛光效果，从而减少气路部件清洗不完全导致气孔内残留颗粒物的概率。此外，该气孔还能在气体扩散过程中起到气体引流作
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220085974 U
(45)授权公告日 2023.11.24
(21)申请号 202321026851.4
(22)申请日 2023.04.28
(73)专利权人 武汉新芯集成电路制造有限公司
地
文档评论（0）