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本发明公开了一种激光位移传感器及其控制方法，激光位移传感器包括照明模块、感光成像模块和控制处理模块；照明模块的激光出射组件用于出射激光探测光束；光斑整形组件和光栅结构依次位于激光探测光束的光轴上，光斑整形组件用于调整激光探测光束的光斑形状，驱动器件与光栅结构连接，用于驱动所述光栅结构沿光栅狭缝的排列方向震动；感光成像模块用于采集被测物体的感光图像；控制处理模块基于感光图像的中心，确定被测物体的位移。本申请通过驱动器件驱动光栅结构振动，抑制激光散斑效应，从而实现散斑颗粒的平滑，提高了激光位移传感器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117109444 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311084517.9
(22)申请日 2023.08.25
(71)申请人 光子（深圳）精密科技有限公司
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