一种PVD镀膜方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种PVD镀膜方法.pdf

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本发明公开了一种PVD镀膜方法，其包括以下步骤：S1：第一次清洁工件；S2：将S1中的工件送入HKS‑G设备内，工件与HKS‑G设备内的PVD镀膜夹具连接；S3：HKS‑G设备加热工件；S4：第二次清洁工件，第二次清洁工件用于去除工件表面氧化物；S5：将S4中去除表面氧化物后的工件进行镀膜；S6：将S5中镀膜后的工件进行预冷；S7：将S6中预冷后的工件从HKS‑G设备取出，然后将工件进行抛光，从而得到工件成品。整体步骤既能对工件进行镀膜加工，还提升了工件的光洁度；使得工件表面成膜更均匀、更稳定，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117107208 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311109493.8 C23C 14/58 (2006.01) (22)申请日 2023.08.