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一种晶圆片检测设备进片机构.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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一种晶圆片检测设备进片机构.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆片检测设备进片机构，包括安装座和晶圆片放置架，所述晶圆片放置架的表面分别开设有与晶圆片相适配的圆槽和供托板通过的凹槽，安装座的上端分别固定安装有晶圆片检测座、晶圆片检测仪和定位座，安装座的上端转动安装有连接轴，连接轴的上端分别固定安装有第一安装框和第二安装框，第一安装框和第二安装框的内壁均设置有送料组件，送料组件由第一气动伸缩杆、滑板、托板和气动吸盘构成，安装座的内部设置有可驱使连接轴转动的驱动组件。本实用新型采用双工位可持续的对晶圆片进行上料、检测和收料，从而解决了传统

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220077822 U (45)授权公告日 2023.11.24 (21)申请号 202320799533.5 B65D 25/20 (2006.01) (22)申请日 2023.04.

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