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- 2023-11-25 发布于四川
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本公开涉及一种基板运输设备，其具有：驱动部段；以及至少一个铰接式多连杆臂，其具有在一个端部处联结到驱动部段的上臂以及联结到上臂的前臂。上臂是基本上刚性的非铰接连杆。双末端执行器连杆是分开的并且彼此不同，它们各自绕公共旋转轴线可旋转地且单独地联结到前臂的公共端部。每个末端执行器连杆具有至少一个保持站。至少一个末端执行器连杆的保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个保持站，所述至少一个末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且在相对端部中的一个处的保持站与每个其他末端
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115244674 A
(43)申请公布日 2022.10.25
(21)申请号 202080095482.7 (72)发明人 A ·克鲁皮舍夫 J ·哈利齐
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