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本发明提供了一种石英玻璃沉积装置、石英玻璃的制备方法以及石英玻璃。本发明的石英玻璃沉积装置，包括：由上炉体、下炉体相互连接成底端开口的炉体、沉积单元、第一喷灯以及第二喷灯；第一喷灯以及第二喷灯分别固定于上炉体的顶部；第一喷灯的第一喷射方向朝向沉积基底，且第一喷射方向与炉体的轴线具有夹角θ1，20°≤θ1≤40°，第一喷灯远离所述炉体内部的一端与轴线之间的垂直距离为20‑45mm；第二喷灯的第二喷射方向朝向沉积基底，且第二喷射方向与所述第一喷射方向之间具有夹角θ2，30°≤θ2≤60°。该石英玻璃
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117105513 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311067871.0
(22)申请日 2023.08.22
(71)申请人 中天科技精密材料
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