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本发明公开了一种线栅偏振器的制造方法，其工艺为：提供若干个表面刻蚀微结构的基板，将基板逐层叠加形成填充单元，使基板内形成若干方向一致的通道，将叠加后的填充单元放入金属填充装置的填充腔，通过填充腔两端产生的压力差，使得金属填充介质在流经通道时将通道填满；对填满金属填充介质的填充单元进行加热，使金属填充介质烧结定型形成金属线栅；将烧结后的填充单元进行拆分，得到若干个金属线栅单元；金属填充装置包括本体，本体的两端设置有第一压力腔和第二压力腔，第一压力腔和第二压力腔之间的本体内设置有填充腔，填充腔设置有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117111197 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311026716.4
(22)申请日 2023.08.15
(71)申请人 深圳市雕拓科技有限公司
地址 5
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