拆装炉作业指导书.docVIP

PAGE 江西豪安能源科技有限公司JIANGXI HAOAN ENERGY TECH CO.,LTD 文件编号 HA-ZD-HB02 页 次 第 PAGE 14 页 共 NUMPAGES 14 页 拆、装炉作业指导书 文件版本 A/0 PAGE 0.1 封面 序号 版本 修订内容 生效日期 备注 1 A/0 首次发行 2011/07/06 批 准 审 核 制 定 日 期 日 期 日 期 一、目的 规范单晶生产车间拆、装炉作业 范围 使用于单晶车间拆、装炉作业 依据 单晶作业指导书 权责单位 江西豪安能源科技有限公司单晶生产部 五、内容 一、作业前准备 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、无尘布(纸)、砂纸、酒精、吸尘刷、吸尘管、钢丝球、防尘口罩。 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 准备取单晶用的专用取棒车、装石墨件的不锈钢长条车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。 用毛巾将炉体从上到下擦扫一遍，擦扫时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。 二、拆炉作业 1热态检漏 1）20寸热场停加热4.5h（22寸热产停加热5h），关氩气 2）抽真空至极限（5pa以下记录在记录本上） 3）确认真空显示数字不再变后，关闭排气球阀、关真空泵电源 4）真