透射电镜的原理与演示演示文稿.pptVIP

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在透射电镜中,被观察粒子的大小一定要大于电子束的波长才能被分辨出来;否则,电子束就会发生绕射,无法看到粒子 ! 本文档共47页;当前第30页;编辑于星期一\4点22分 扫描电镜 透射电镜 光 镜 肉眼 玻璃透镜 (目镜) 投影镜 玻璃透镜 (物镜) 样品 玻璃透镜 (聚光镜) 光源 (卤灯或汞灯) 高压电子枪 样品 电磁 透镜 束偏转器 图像投到 视屏上 荧光屏 光镜、透射电镜及扫描电镜的成像光路图解 本文档共47页;当前第31页;编辑于星期一\4点22分 四、扫描电镜的结构与成像原理 1. 扫描电镜的基本结构 电子光学系统 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 样品室 信号的收集处理及显示系统 真空系统 供电保护系统等 扫描电镜 本文档共47页;当前第32页;编辑于星期一\4点22分 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 样品室 信号的收集处理系统 真空系统 供电 保护 系统 显示系统(显象管) (1~10KV) 本文档共47页;当前第33页;编辑于星期一\4点22分 电子枪灯丝 电磁 透镜 探测器 电磁 透镜 扫描线圈的 束偏转器 样品托 样品 显象管 电子光学系统 扫描电镜的结构简图 本文档共47页;当前第34页;编辑于星期一\4点22分 透射电镜的原理与演示演示文稿 本文档共47页;当前第1页;编辑于星期一\4点22分 分辨力(resolution):指显微镜能将近邻的两个质点分辨清楚的能力, 通常是用相邻两点间的距离(D)来表示。 一、电子显微镜出现的必然性 光源的波长 镜口率(N.A.) 1. 分辨力 本文档共47页;当前第2页;编辑于星期一\4点22分 可见光波长为400~700nm (平均550nm) 取决于镜口角和物镜与标本间介质的折射率 波长: 镜口率(N.A.)的大小: 镜口角 物镜与标本之间介质的折射率 空气的折射率为1 水为1.33 香柏油为1.515 ?-溴萘为1.66 ? 本文档共47页;当前第3页;编辑于星期一\4点22分 紫外光显微镜:0.1 ?m 光镜分辨力的最小数值:≤0.2 ?m 一般光镜设计的最大放大倍数为1,000~1,500? 光学分辨率的极限! 有效放大: 指本来用肉眼看不清楚的物体经显微镜放大成像后可以分辨清楚的放大 指本来用肉眼能看清楚的物体经放大镜、幻灯机或投影仪等放大成像后可以分辨得更清楚的放大。 无效放大: 本文档共47页;当前第4页;编辑于星期一\4点22分 各种光与电子束的波长比较 名 称 波长(nm) 可见光 760~390 紫外光 390~13 X-射线 13~0.05 ?-射线 1~0.005 电子束 100V 0.123 10,000V 0.0122 100,000V 0.00387 电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比: ? ? 1 ? V 本文档共47页;当前第5页;编辑于星期一\4点22分 电子显微镜与光学显微镜的异同点 1,000,000 1,000 放大倍数 0.1nm 0.2~0.1?m 分 辨 力 电聚焦 机械聚焦 聚焦方式 电磁透镜 光学透镜 透 镜 真 空 空 气 介 质 短:0.003~0.008 长:200~750 波长(nm) 电子束 光 束 照 射 光 电子显微镜 光学显微镜 2. 电镜与光镜的对比 本文档共47页;当前第6页;编辑于星期一\4点22分 电子显微镜与光学显微镜结构的对比图解 本文档共47页;当前第7页;编辑于星期一\4点22分 二、电镜的分类 根据电子束和样品之间作用方式的不同,可将电镜分为4大类: 1) 物体透射电子 2) 物体发射电子 3) 物体反射电子 4) 物体吸收电子 透射电镜 扫描电镜 观察和分析样品的内部结构 观察和分析样品的表面立体形貌 本文档共47页;当前第8页;编辑于星期一\4点22分 三、透射式电子显微镜 真空系统 供电及保护系统 电子照明系统 成象系统 观察记录系统 1、透射电镜的结构 本文档共47页;当前第9页;编辑于星期一\4点22分 电子照明系统 成象系统 观察记录系统 真空系统 供电及 保护系统 透镜系统或 电子光学系统 透射电镜的结构 本文档共47页;当前第10页;编辑于星期一\4点22分 一般电镜 超高压电镜 真空系统 抽真空的意义: 防止灯丝的氧化损伤; 确保电子束在运行过程中的运动轨迹不受空气分子干扰; 去除空气分子对样品的污染。 ? 1.3?10-12Pa 离子泵 真空涡流泵 机械泵: 油扩散泵: 冷阱: 真空管道、阀门、储气罐等 1 Pa ?1.3?10-5~10-6Pa; 1.3?10-6Pa ? 1.3?10-7 ~10-9Pa 1.3?10-9Pa ? 1.3?10-10Pa 真

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