单晶片面积粗略计算.docVIP

硅单晶片面积粗略计算 一．125*125单晶硅片：按对角线长分2类，150mm和165mm。 1.对角线长150mm； Cosθ=62.5/75=0.8333 得：θ=33.557° 扇形面积：S1=(2θ/360°)*πR2 ? ? ? ? ? ? ? =(2*33.557°/360°)*π（75）2 ? ? ? ? ? =3294.45mm2 大三角面积：S2=(ab /2)sin2θ=(75*75/2)sin(2* 33.557°) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? =2591.10mm2 弧形面积：S 弧= S1 - S2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? =703.35 mm2 单晶片面积：S=S圆 - 4S弧 =π（75）2 - 4*703.35 mm2 ? ? ? ? ? ? ? ? ? =17671.46 - 2813.40 mm2 ? ? ? ? ? ? =14858.06 mm2 =148.58cm2 2．对角线长165mm（计算同上）： 得：S=15482.42 mm2 = 154.82 cm2 二．156*156单晶硅片面积： 单晶片长156mm，对角线长200mm(计算同上)： 得：S=23894.69 mm2 =238.95 cm2