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一种芯片清洗用喷淋机构.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种芯片清洗用喷淋机构.pdf

    本实用新型涉及一种芯片清洗用喷淋机构，包括清洗箱，清洗箱内设置有芯片输送机构，芯片输送机构上输送有放置架，放置架上开设有多个上下连通的放置槽，放置槽内放置有芯片本体，芯片输送机构的上下两侧均配合放置架设置有喷淋管组，每个喷淋管组上均设置有多个喷淋头，清洗箱的底端设置有出液管，出液管的尾端连接有过滤箱，过滤箱内设置有拦截滤网，过滤箱远离出液管的一端连接有泵体，泵体的输出端连接有循环分流管，循环分流管分别连接对应的喷淋管组，本实用新型可以实现芯片清洗过程中上下两侧的喷淋清洗，提高芯片的清洗效果，同时

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220106443 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202321298693.8 (22)申请日 2023.05.26 (73)专利权人 全溪材料科技 （上海）有限公司

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