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光学元件、光学配置以及插入部件.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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光学元件、光学配置以及插入部件.pdf

    本发明关于用于反射辐射、特别是用于反射EUV辐射的光学元件(M4)，其包含：基板(25)、施加到基板(25)的表面(27)的反射涂层(28)、在施加了反射涂层(28)的表面(27)下方的基板(25)中延伸的多个冷却通道(29)、用于将至少一个冷却流体入口(32)连接到多个冷却通道(29)的分配器(33)、以及用于将多个冷却通道(29)连接到至少一个冷却流体出口(34a、b)的集流器(35)。分配器(33)和/或集流器(35)整合到至少一个较佳为杆状的插入部件(31)中，该插入部件被引入形成在基板

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117136338 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202280026512.8 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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