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- 2023-11-29 发布于四川
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本申请涉及一种基片载具及镀膜设备，载具包括：舟体；第一支撑部，安装于所述舟体在第一方向上的一端；第二支撑部，与所述第一支撑部安装于所述舟体在所述第一方向上的同一端，且所述第二支撑部与第一支撑部沿第二方向间隔布设；第三支撑部，安装于舟体在第一方向的另一端，且在第二方向上，第三支撑部位于第一支撑部和第二支撑部之间。上述载具，而通过呈品字形的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，使得第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部均能够与石英管的内壁相互接触，不存在其中一个或多个支撑部无法与石英管接触处于悬空的现象，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117133693 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311397417.1
(22)申请日 2023.10.26
(71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司
地址
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