1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

物理气相沉积PVD设备.pdfVIP

  • 23
  • 0
  • 约1.43万字
  • 约 14页
  • 2023-11-29 发布于四川
  • 举报

物理气相沉积PVD设备.pdf

    本实用新型公开一种物理气相沉积PVD设备，涉及材料加工技术领域。所述物理气相沉积PVD设备包括设备主体、转运装置以及夹持装置；所述设备主体形成有用于卷材加工的密闭腔体，所述密闭腔体内设有放置靶材的上料位，以及处理靶材的工作位；所述转运装置设于所述密闭腔体内，所述夹持装置连接所述转运装置，所述夹持装置用于取放靶材，所述转运装置用于带动所述夹持装置在所述密闭腔体内进行水平和/或竖向移动，以将靶材由上料位转运至工作位。本实用新型技术方案可以实现靶材的自动化更换，极大的节省人工，提高上料效率以及安全性。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220099163 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202321437601.X (22)申请日 2023.06.06 (73)专利权人 美的集团股份有

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >