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- 2023-11-29 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆盒清洗后环境检测方法、检测装置及清洗设备，晶圆盒清洗后环境检测方法包括步骤：S100、将晶圆盒上料至上料单元上；S200、机械手从上料单元上抓取晶圆盒至清洗单元中进行清洗；S300、向晶圆盒通入氮气的同时对晶圆盒内进行环境检测；S400、判断该晶圆盒是否合格。步骤S300具体包括：步骤S301、将晶圆盒移动至检测工位上；步骤S302、所述检测工位上的充气孔通过晶圆盒上的第一气孔与晶圆盒内部连通，检测工位上的抽气孔通过晶圆盒上的第二气孔与晶圆盒内部连通；步骤S303、通过充气孔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117133691 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311388391.4
(22)申请日 2023.10.25
(71)申请人 江苏芯梦半导体设
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