1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

调节装置和方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.03万字
  • 约 15页
  • 2023-11-29 发布于四川
  • 举报

调节装置和方法.pdf

    提供了一种用于调节光刻装置的部件的装置，该装置包括外壳，该外壳被配置为容纳氢等离子体；氢等离子体生成器，该氢等离子体生成器被配置为向部件提供氢等离子体；其中装置被配置为控制以下各项中的至少一项：氢等离子体中氢离子与氢自由基的比率、外壳与被调节的部件之间的距离、以及等离子体的能量。还描述了调节光刻装置的部件的表面的方法、光刻装置、以及这样的装置或方法在光刻装置或处理中的用途。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117136339 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202280026521.7 F ·斯比里扎伊　 (22)申请日 2022.03.10

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >