原创力文档- 2
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- 2023-11-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于晶圆盒传输的防抖型手推车，属于半导体设备技术领域，包括车体；车体内设有置物台，置物台上设有用于固定晶圆盒的卡紧结构，置物台下方设有减震件，或，置物台下方以及车体底部均设有减震件，置物台下方的减震件与晶圆盒连接。进一步地，卡槽与晶圆盒之间设有第一缓冲层或第一缓冲件。通过卡紧结构对晶圆盒进行卡紧固定，保证晶圆盒在推车移动过程中不发生位移，配合减震件对晶圆盒传输过程中的受力进行缓冲，降低了晶圆盒的抖动幅度，进而保护晶圆盒内的晶圆不受损伤，降低了晶圆碎边、碎片风险。还通过设置第一
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220096413 U
(45)授权公告日 2023.11.28
(21)申请号 202321438924.0 B60B 33/04 (2006.01)
(22)申请日 2023.06.
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