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jIIIJ fl I IIIIII Il lll fff Y3836298 秉◆?电痧大学 NORTHEASTELECTRICPOWERUNIVERSITY 硕士学位论文 (学术学位) 微纳流控芯片对准操作系统的研究 RESEARCHoNALIGNMENToF FLUIDICCHIPTooPERATING SYSTEM 孙功臣 202 1年6月 万方数据 中图分类号：TH705 学校代码：10188 UDC：621 密级：公开 llUllIIIIIllIII111111IIIIIIIIIIIllIIl Y3836298 微纳流控芯片对准操作系统的研究 硕士研究生： 孙功臣 导 师： 王俊尧副教授 学 位 类 别： 工学硕士 学 科 专 业： 机械制造及其自动化 所 在 单 位： 机械工程学院 答 辩 日 期： 2021年6月 授予学位单位： 东北电力大学 万方数据 ClassifiedIndex：TH705 U．D．C：621 OF ONALIGNMENT RESEARCH SYSTEM TOOPERATING FLUIDICCHIP Candidate： Sun Gongchen Wang A／Prof．Junyao Supervisor： for： Masterof Academic Engineering DegreeApplied ManufactureandAutomation Mechanical Speciality： ofMechanical School Affiliation： Engineering ofDefen