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本发明公开了一种基于顺序注射分析技术的半导体蚀刻液在线检测装置及方法。本发明通过对混酸溶液分别进行酸化和碱化处理，排除硝酸根与醋酸根之间的干扰；本发明采用三氯化铝与氟离子络合，排除在测定氟硅酸根时氟离子的干扰，同时利用总氟含量与氟硅酸含量结合反应方程式的化学计算，快速判定氟硅酸含量与氟离子含量；本发明整个测定环境都处于低酸碱度下进行，可延长装置使用寿命；本发明提出了一种基于分光光度法的顺序注射在线检测装置及方法，可减少试剂用量，同时保证蚀刻液中硝酸根、醋酸根、硫酸根、氟硅酸根、氟离子含量测定的准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117147471 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202310969031.7
(22)申请日 2023.08.03
(71)申请人 浙江工业大学
地址 310014
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