一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种氧化铟铈钽钛钬靶材及其制备方法.pdf

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本申请涉及靶材生产技术领域，公开了一种氧化铟铈钽钛钬靶材，靶材中铟、铈、钽、钛、钬的摩尔比为：66.3～71.8：0.058～1.163：0.045～0.905：0.125～2.5：0.053～1.058。该靶材采用铟为主材，采用三价、四价、五价金属进行掺杂，得到的靶材具有较高硬度、较大电子迁移率和载流子浓度的特性。同上，本发明还公开了该靶材的制备方法。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117144310 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311193722.9 (22)申请日 2023.09.15 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址