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干刻制程腔体含膜涂层部件的再生方法及其设备.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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干刻制程腔体含膜涂层部件的再生方法及其设备.pdf

    本发明涉及蚀刻制程的腔体核心零部件再生技术领域，且公开了干刻制程腔体含膜涂层部件的再生方法及其设备,包括以下步骤：S1、通过水作为推动树脂粒流动载体，在一定的压力和树脂粒直径下，喷射头往含膜涂层部件上的附着物层各处多次喷射树脂粒混合溶液；S2、喷射结束后，尼龙刷顺时针擦拭已剥落的附着物；S3、用常温的超纯水洗或者空气冲洗部件表面，带走脱落的附着物。该干刻制程腔体含膜涂层部件的再生方法及其设备，通过水推动树脂粒载体，令运动的树脂粒碰撞含膜涂层表面的附着物，致使附着物破碎，从而达到使附着物从含膜涂层

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117139287 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202211708854.6 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 苏州珮凯科技有限

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