一种磁控溅射法制备硅碳复合材料及其应用.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种磁控溅射法制备硅碳复合材料及其应用.pdf

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本发明涉及锂离子电池材料制备领域技术领域，具体为一种磁控溅射法制备硅碳复合材料及其应用，其制备过程为：以纳米硅为基体，通过磁控溅射法在其表面沉积催化剂薄膜，通过激光刻蚀形成凸凹点，之后通过化学沉积法在其表面生长无定型碳，得到电池负极活性材料。本发明采用磁控溅射法具有反应过程可控、迅速、沉积层致密度高的优点，且无定形碳的生长方式为垂直于纳米硅表面生长，有利于提高材料的快充性能及安全性能，同时通过激光刻蚀形成凸凹点可以提高无定形碳在纳米硅表面的沉积量，提升内核与外壳之间的结合力，从而优化循环性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117154088 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311011294.3 C23C 14/58 (2006.01)