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本申请涉及一种高真空镀膜设备及方法,包括安装架,所述安装架上固定安装有镀膜箱,镀膜箱用于对多个工件的表面进行镀膜,镀膜箱内还设有用于装载多个工件的承载组件,以及用于工件镀膜时对工件的两端进行密封的夹持组件,镀膜箱内还设有与镀膜腔室隔离的旋转组件,旋转组件用于带动多个工件保持旋转镀膜;相较于现有技术,本发明能对工件实现封闭式外壁镀膜处理,提高了镀膜工件的美观性与抗氧化性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117144319 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311064975.6
(22)申请日 2023.08.23
(71)申请人 江苏派莱特光电科技有限公司
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