一种Topcon电池链氧可控激光附加氧化层的方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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一种Topcon电池链氧可控激光附加氧化层的方法.pdf

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本申请公开了一种Topcon电池链氧可控激光附加氧化层的方法，包括如下步骤：S1,对硅片进行表面处理，然后制绒；S2,硅片衬底上制备扩散层；S3,对硅片表面进行瞬间氧化处理；S4,将边缘多余的扩散层刻蚀干净；S5,硅片背面生成SiO2层和多晶硅层；S6,清洗去除正面多余的多晶硅层；S7,硅片正面依次生成氮化硅层、氮氧硅膜和氧化硅层；S8,硅片背面生成氮化硅层；S9,对硅片正背面印刷银浆；S10,完成制备后，并采用IV测试机进行效率数据收集；本申请通过将激光SE与链氧设备的搭配，利用激光能

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117153939 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311110132.5 (22)申请日 2023.08.29 (71)申请人芜湖协鑫集成新能源科技有限公司地