误差图板的夹具、探针卡维护机以及校准方法.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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误差图板的夹具、探针卡维护机以及校准方法.pdf

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本发明提出了误差图板的夹具、探针卡维护机以及校准方法。所述夹具包括：底座；支座，其在底端处固定至所述底座的上表面并且在顶端处设有向上突出的两个支臂，所述两个支臂彼此间隔开，以在它们之间限定凹口；销轴，其从所述支座的顶端向上突出到所述凹口中，每个支臂设有横向于所述销轴并相对于所述销轴径向偏移的螺纹孔；支架，其在所述凹口中被可旋转并且可轴向平移地连接至所述销轴并设有平行于所述销轴的螺纹孔；高度调整螺栓，其与所述支架中的螺纹孔配合，并适合于抵靠所述支座的顶端；以及角度调整螺栓，其与所述支臂中的螺纹孔配

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117146749 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202311175326.3 (22)申请日 2023.09.12 (71)申请人英特尔产品（成都）有限公司地址