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本发明提供了一种可自动切换镜头和自动对焦的检测装置及方法，属于检测设备领域，该检测装置包括检测单元和传动单元，其中：检测单元包括主检组件以及与主检组件在光路上相连通的复检组件和测距组件；传动单元包括竖直传动组件和水平传动组件，竖直传动组件与检测单元连接，以根据测距组件测得的距离带动检测单元上下移动实现自动对焦；水平传动组件与主检组件中的多个物镜连接，以实现自动切换镜头。本发明具有结构紧凑的优势，并且能够根据测距组件测得的物镜与待测工件的距离带动检测单元上下移动实现自动对焦，并通过水平传动组件带动
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117147578 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311080182.3 H01L 21/67 (2006.01)
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