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本发明涉及晶圆贴膜设备技术领域，涉及一种高自动化晶圆贴膜设备，自动化晶圆贴膜设备，包括基座和机架，机架上设置有对模体形成输送和卷收的膜输送机构，基座内部设置有水平驱动机构和安装台，水平驱动机构驱使安装台移入或移出基座内部，安装台上设置有升降机构和贴膜台，升降机构驱使贴膜台靠近或远离膜体的覆膜端，机架上设置有导向机构，导向机构上传动设置有驱使模体与贴膜台紧密贴合的贴膜机构，贴膜机构的上方设置有对贴膜台上的模体形成剪裁，使其与膜输送机构上的模体形成分离的旋转切割机构，贴膜机构的一侧传动设置有消除模体
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117153719 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311038400.7
(22)申请日 2023.08.17
(71)申请人 常州烁晶光电有限公司
地址 21
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