基于多模干涉结构的MEMS光开关及N×N阵列.pdfVIP

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2023-12-02 发布于四川
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基于多模干涉结构的MEMS光开关及N×N阵列.pdf

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本发明公开了一种基于多模干涉结构的MEMS光开关及N×N阵列。包括基底、光学结构和机械结构；光学结构中，固定、可移动宽波导相邻平行、均悬空，可移动宽波导与机械结构相连，由机械结构带动可移动宽波导靠近或者远离固定宽波导运动，实现MEMS光开关的控制；固定、可移动宽波导均包括侧壁上具有亚波长结构的宽波导、单模波导和绝热锥形波导。本发明材料单一、结构简单、制作成本低，具有插入损耗低、串扰低、消光比高、制作工艺简单、加工成本低、功耗低、可扩展性强等显著优势。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117148505 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202310718136.5 (22)申请日 2023.06.16 (71)申请人浙江大学地址 310058