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若干微电子机械系统研制及相关LIGA工艺研究的开题报告

一、选题背景

微电子技术作为电子信息时代重要组成部分得到了广泛的应用，人们日常所使用的计算机、手机、数码相机，都采用了微电子器件发挥其功能。随着科学技术的发展和社会的需求，微电子技术得到了不断的完善和发展，一个新的领域——微电子机械系统（MEMS）应运而生。MEMS是一种使用微电子工艺技术制造的微观机械系统，具有小、快、精、便、低能耗等特点，在国防、医疗、生物、环保、通信等领域得到了广泛的应用。

二、选题意义

MEMS技术是目前国际上微系统技术研发的热点之一，具有应用广泛、市场巨大的潜力。以MEMS为核心的智能系统是下一步信息技术、生物医疗、国防军工的重要方向之一，而微机电系统技术的核心是其高度集成化、微型化、低功耗化和高度智能化。因此，对MEMS技术的研究和开发将对社会创新发展起重要作用。

三、研究内容

本课题选用LIGA工艺制备主流的微电子机械传感器、执行器和微流控器件，通过加工工艺和工作原理的理论研究，制备出微汽车传感器、超声波执行器、微型过滤器等。根据不同应用的需求，分别进行设计、仿真计算、样机制作和实验研究，开发出符合应用需求的微元件和微系统。同时，对LIGA工艺进行深入研究，提高加工精度和制备效率，并建立相应的工艺标准。

四、研究方法

采用LIGA工艺制造微电子机械元件，对其进行理论分析，确定器件的基本结构和参数，