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产线派工方法、电子信息系统和计算机可读存储介质.pdfVIP

产线派工方法、电子信息系统和计算机可读存储介质.pdf

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    本申请实施例涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种产线派工方法、电子信息系统和存储介质。该产线派工方法包括：针对排程清单中的各待制品批，将工艺配方适用于待制品批的可作业腔室确定为待制品批的匹配作业腔室；按照各匹配作业腔室的腔室优先级生成腔室表单；匹配作业腔室对应的待制品批的批数量越多，对应的腔室优先级越低；获取排程清单中各待制品批的排程优先级，按照腔室表单中各匹配作业腔室的腔室优先级，依次确定各匹配作业腔室对应的排程优先级最高的待制品批，并将排程优先级最高的待制品批作为匹配作业腔室的目标制品批；将

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117174616A

    (43)申请公布日2023.12.05

    (21)申请号202311154036.0

    (22)申请日2023.09.07

    (71)申请人北京燕东微电子科技有限公司

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