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2023-12-06 发布于四川
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本发明提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和设置在基底上的电容系统，电容系统包括背板以及与背板相对且间隔设置的振膜，背板的朝向振膜的表面或振膜的朝向背板的表面设有防黏连件，其特征在于，当振膜运动至使防黏连件同时与振膜和背板接触时，防黏连件可沿振膜的振动方向发生弹性形变。本发明的防黏连件具有弹性，可以给振膜的运动提供缓冲，避免振膜的与防黏连件相接触位置所受应力快速集中，从而防止在振膜上形成凹坑，避免振膜在防黏连件的反复冲击下断裂。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117177153A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311270440.4

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人瑞声声学科技（深圳）有限公司

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