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本发明提供一种基于径向跳动量在位监测的永磁半球端抛光头粘接工艺方法，涉及超精密加工技术领域，为解决现有方法得到的永磁半球端抛光头的径向跳动量过高，无法适用于高精度抛光加工的问题。包括：通过激光位移传感器监测支撑杆旋转过程中的径向跳动量，控制支撑杆的径向跳动量低于跳动量预设值；将永磁半球端抛光头的半球端永磁体安装于支撑杆的安装轴上，监测半球端永磁体圆柱表面多个位置的径向跳动量，控制各位置径向跳动量低于跳动量预设值；采用树脂粘合剂将永磁半球端抛光头的半球端永磁体与支撑杆粘合固定，监测半球端永磁体圆柱
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117161992A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311271687.8
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人哈尔滨工业大学
地址15000
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