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本发明涉及光刻工艺技术领域，具体涉及一种基于图像处理的多晶层光刻工艺热点检测方法，通过获取光刻图像对应的灰度图像，并确定灰度图像中每种灰度级对应的目标区域，进而确定灰度图像中每种灰度级对应的权重；根据灰度图像中每种灰度级对应的概率值和权重，对灰度图像进行阈值分割，得到光刻图像的热点区域分割图像。本发明通过确定灰度图像中每种灰度级对应的权重，可以准确地分割出光刻胶中的裂纹区域，有效提高了光刻工艺热点检测的准确性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117173176A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311447074.5
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人张家港中贺自动化
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