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本发明公开了一种发声单元及其制备方法、数字式扬声器，涉及数字式扬声器技术领域，以提供一种能够解决现有的固定厚度振膜可能无法满足器件对发声单元的要求的技术方案。发声单元包括：键合在一起的上基板结构和下基板结构，设置在上基板结构上的支撑结构，以及振膜结构。其中，下基板结构具有朝向上基板结构设置的发声腔体，发声单元具有贯穿上基板结构和支撑结构的多个发声通道，多个发声通道与发声腔体相对设置，振膜结构的两端设置在支撑结构上，中间区域悬空设置在支撑结构的上方，且振膜结构的中间区域包括振振膜中心以及位于振膜中
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117177150A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311447094.2
(22)申请日2023.11.02
(71)申请人地球山（苏州）微电子科技有限公司
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