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2023-12-06 发布于四川
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器件电容测量的方法.pdf

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本发明提供一种器件电容测量的方法，提供待测试的衬底以及测试机台，衬底的电容隔离低于目标值；衬底的上形成有栅极结构以及衬底引出端，衬底的背面固定连接在承载台上，承载台接地，承载台的电容为Cr；测试机台包括并联的AC信号发生装置与电压表，其第一并联端分别接衬底引出端以及承载台，其第二并联端分别接电流表的第一端以及接地，电流表的第二端接栅极结构，用以形成承载台的电容与衬底的电容相串接测试电路；利用测试电路获取电容量测值C；计算衬底的实际电容值本发明减小了对电容隔离低于目标值衬底的电容测量误差。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117169604A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311266357.X

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司

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