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一种圆环部件的打磨装置及其打磨方法.pdfVIP

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  • 2023-12-06 发布于四川
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一种圆环部件的打磨装置及其打磨方法.pdf

    本发明提供一种圆环部件的打磨装置及其打磨方法，所述打磨装置至少包括：机架，所述机架作为装置的外壳，所述机架的内部包括上表面和下表面；驱动结构，所述驱动结构安装在所述上表面上；打磨结构，所述打磨结构和所述驱动机构连接，且允许所述驱动结构驱动所述打磨结构水平移动、竖直移动或往复旋转运动；载物结构，所述载物结构设置在所述下表面上，所述载物结构包括打磨台，所述打磨台至少呈三层圆台设置，且所述三层圆台的直径从里到外递增，所述三层圆台的高度从里到外递减；以及真空吸附结构，所述真空吸附结构设置在所述载物结构与

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117161906A

    (43)申请公布日2023.12.05

    (21)申请号202311335062.3

    (22)申请日2023.10.13

    (71)申请人中电化合物半导体

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