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本申请实施例提供了一种图形化工艺质量检测方法、装置、设备以及存储介质，该方法包括：获取第一图像以及第二图像，并进行边缘提取处理得到第一图形以及第二图形；将第一图形以及第二图形放置到同一坐标系，对同一坐标系中的第一图形以及第二图形进行频域变换计算得到第二图形相对于第一图形的目标偏移量；将第二图形基于目标偏移量进行坐标平移得到与第一图形构成位置叠对关系的目标图形；将目标图形以及第一图形进行边缘位置比对确定目标图形以及第一图形之间的图形偏差信息。本方案通过图形平移叠对的方式来确定图形之间的图形偏差信息
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117173157A
(43)申请公布日2023.12.05
(21)申请号202311379153.7
(22)申请日2023.10.24
(71)申请人粤芯半导体技术股份有限公司
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