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聚酰亚胺牺牲层工艺制备电容式红外FPA技术研究的开题报告

标题：聚酰亚胺牺牲层工艺制备电容式红外FPA技术研究的开题报告

研究背景：

电容式红外FPA是近年来发展非常迅速的一种红外探测技术，已经广泛应用于军事、民用等领域。目前国际上主要生产商的电容式红外FPA清晰度高、稳定性好、兼容性强等优点，但是价格昂贵，国内相关技术仍处于相对较低水平，需要进一步研究和发展。

研究目的：

本研究旨在探究高性能低成本的电容式红外FPA制备技术，以提高我国相关产业技术水平，满足国内市场需求。具体而言，本研究将通过聚酰亚胺牺牲层工艺制备电容式红外FPA，研究其光电性能及制备工艺，为后续电容式红外FPA制备提供技术支持和参考。

研究方法：

1.采用溶液旋涂法制备聚合物基底

2.将聚合物基底进行热处理，形成平整的表面

3.利用光刻工艺将红外探测单元及电容结构图案化

4.利用聚酰亚胺牺牲层工艺制备电容介质

5.利用金属薄膜沉积工艺制备金属电极

6.利用钝化工艺增强电容结构稳定性

7.测试所制备的电容式红外FPA的光电特性

研究意义：

本研究所探究的通用技术将有助于提高我国电容式红外FPA制备技术水平，满足国内市场需求。特别是聚酰亚胺牺牲层工艺，提高了电容介质质量和电容结构的稳定性，降低了制备成本，增强了国内相关产业的竞争力。另外，本研究所制备的电容式红外FPA可在军事侦察、物联网、数字化城市等