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- 2023-12-09 发布于上海
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应变硅价带结构及空穴迁移率模型研究的开题报告
1.研究背景和意义:
应变硅是一种特殊的硅基材料,在应变状态下可以具有改善电学性能的特性,如提高载流子迁移率,降低电阻率等。因此,应变硅在半导体器件中得到广泛应用,如高性能场效应晶体管、太阳能电池等领域。然而,目前针对应变硅的理论研究相对薄弱,尤其是关于应变硅在不同应变状态下的电学性能和载流子迁移率的研究,仍然需要进行深入探究。因此,本研究旨在通过研究应变硅的价带和空穴迁移率模型以及在不同应变状态下的电学性能,为应变硅材料的应用和优化提供理论依据和技术支持。
2.研究内容与方法:
本研究将从以下两个方面入手:(1)应变硅的价带结构研究;(2)空穴迁移率模型研究。具体研究方法如下:
(1)通过密度泛函理论(DFT)计算应变硅在不同应变状态下的价带宽度、能隙、极化强度等性质,并探究应变对价带结构的影响;
(2)建立应变硅空穴迁移率模型,通过仿真计算得到应变条件下空穴的漂移迁移率;
(3)通过物理实验,测量应变硅在不同应变状态下的电学性能,如载流子浓度、迁移率、导电性等,并与理论模型进行比对和验证。
3.预期结果:
通过以上研究,预计能够得出以下结果:
(1)探究应变硅不同应变状态下的价带结构变化规律;
(2)建立应变硅空穴迁移率模型,并验证其准确性;
(3)测量应变硅在不同应变状态下的电学性能,如载流子浓度、迁移率、导电性等,并进行分
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