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本实用新型提出了一种钙钛矿太阳能电池退火装置,钙钛矿太阳能电池退火装置包括退火炉和真空组件,所述退火炉内设置有腔体和设置在所述腔体内的退火组件,所述腔体与所述真空组件连通;所述退火组件包括多个退火单元,每一所述退火单元包括壳体、加热件、排气管和用于承接基板的支架,所述壳体内设置有退火室,所述退火室通过所述排气管与所述腔体连通;所述加热件和所述支架分别设置于所述退火室内,所述加热件位于所述支架一侧,且所述加热件的加热方向朝向所述支架上的基板表面。本实用新型的钙钛矿太阳能电池退火装置通过设置多个退火
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220156970U
(45)授权公告日2023.12.08
(21)申请号202321463647.9
(22)申请日2023.06.08
(73)专利权人深圳无限光能技术有限公司
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