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间距测量装置.pdfVIP

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  • 2023-12-09 发布于四川
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间距测量装置.pdf

    本申请涉及一种间距测量装置。该间距测量装置包括基座、调节件和测量机构。基座用于安装至固定件，固定件具有沿第一方向依次间隔设置的第一定位面和第二定位面，第一定位面用于在第一方向上定位靶材，第二定位面用于在第一方向上定位磁控管；调节件连接于基座和测量机构之间；其中，磁控管面向靶材的一侧表面和第一定位面的其中之一为基准面，其中另一为测量面；测量机构沿第二方向移动的过程中，测量机构能够在第一方向上分别对位于基准面和测量面；测量机构用于依次在基准面和测量面分别确定一个点，并基于所确定的点确定基准面与测量面

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220153546U

    (45)授权公告日2023.12.08

    (21)申请号202321662837.3

    (22)申请日2023.06.27

    (73)专利权人湖北江城芯片中

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